A Mechanically Enhanced Storage node for virtually unlimited Height (MESH) capacitor aiming at sub 70nm DRAMs

D. H. Kim, J. Y. Kim, M. Huh, Y. S. Hwang, J. M. Park, D. H. Han, D. I. Kim, M. H. Cho, B. H. Lee, H. K. Hwang, J. W. Song, N. J. Kang, G. W. Ha, S. S. Song, M. S. Shim, S. E. Kim, J. M. Kwon, B. J. Park, H. J. Oh, H. J. KimD. S. Woo, M. Y. Jeong, Y. I. Kim, Y. S. Lee, H. J. Kim, J. C. Shin, J. W. Seo, S. S. Jeong, K. H. Yoon, T. H. Ahn, J. B. Lee, Y. W. Hyung, S. J. Park, H. S. Kim, W. T. Choi, G. Y. Jin, Y. G. Park, Kinam Kim

Research output: Contribution to journalConference articlepeer-review

15 Citations (Scopus)

Fingerprint

Dive into the research topics of 'A Mechanically Enhanced Storage node for virtually unlimited Height (MESH) capacitor aiming at sub 70nm DRAMs'. Together they form a unique fingerprint.

Engineering

Computer Science

Physics

Material Science

Medicine and Dentistry