An Outstanding and Highly Manufacturable 80nm DRAM Technology

H. S. Kim, D. H. Kim, J. M. Park, Y. S. Hwang, M. Huh, H. K. Hwang, N. J. Kang, B. H. Lee, M. H. Cho, S. E. Kim, J. Y. Kim, B. J. Park, J. W. Lee, D. I. Kim, M. Y. Jeong, H. J. Kim, Y. J. Park, Kinam Kim